Наукова бібліотека Українського державного університету науки і технологій

Головна

Бази даних

Статті, доповіді, тези- результати пошуку

Вид пошуку

Каталог книг

Каталог книг НМетАУ (до 2022 року)

Періодичні видання (друковані)

Статті, доповіді, тези

Рідкісні та цінні видання

Охоронні документи

Мережеві ресурси

Зона пошуку

Формат представлення знайдених документів:
повний	інформаційний	короткий

Пошуковий запит: <.>K=sputtering<.>

Загальна кількість знайдених документів : 1

Форма документа : Стаття із журналу
Шифр видання :
Автор(и) : Hladkovskiy V. V., Fedorovich O. A.
Назва : Spectroscopic studies of RF discharge plasma at plasma-chemical etching of gallium nitride epitaxial structures
Місце публікування : Український фізичний журнал: науковий журнал/ Національна академія наук України, Інститут теоретичної фізики ім. М. М. Боголюбова НАН України. - К., 2017. - Т. 62, № 3. - С. . 206-211: рис. 4
Примітки : Бібліогр.: с. 210-211 (18 назв). - В ОБЛ. БІБЛІОТЕКІ
УДК : 533.9
Предметні рубрики: Фізика
Физика
Фізика плазми
Физика плазмы
Ключові слова (''Вільн.індекс.''): bias voltage--plasma-chemical etching--sputtering--plasma-chemical reactor--radio-frequency discharge--optical spectroscopy--напруга зміщення--напряжение смещения--плазмохімічне травлення--плазмохимическое поедание--розпилення--распыление--плазмохімічний реактор--плазмохимический реактор--раідочастотний розряд--радиочастотные разряды--оптична спектроскопія--оптическая спектроскопия
Анотація: Приведено результати експериментальних досліджень впливу напруги зміщення на еволюцію спектрів випромінювання плазми при травленні нітриду галію в плазмохімчному реакторі (ПХР) з керованими магнітними полями. При значеннях напруги зміщення більших за -250 В на спектрах випромінювання плазми з'являються лінії, що належать збудженим атомам матеріалів, з яких виготовлений робочий електрод. Під впливом від'ємного потенціалу проходить розпилення активного електрода і переосадження іонів металу на поверхню зразка, який обробляється, що приводить до зменшення швидкості травлення.
Знайти схожі

© Міжнародна Асоціація користувачів і розробників електронних бібліотек і нових інформаційних технологій
(Асоціація ЕБНІТ)