Головна
Авторизація
Прізвище
№ читательского билета
 

Бази даних


Статті, доповіді, тези- результати пошуку

Вид пошуку

Зона пошуку
Формат представлення знайдених документів:
повнийінформаційний короткий
Пошуковий запит: <.>K=sputtering<.>
Загальна кількість знайдених документів : 1
1.

Hladkovskiy V. V. Spectroscopic studies of RF discharge plasma at plasma-chemical etching of gallium nitride epitaxial structures/V. V. Hladkovskiy // Український фізичний журнал. -К., 2017. Т. 62,N № 3.-С.. 206-211
 
© Міжнародна Асоціація користувачів і розробників електронних бібліотек і нових інформаційних технологій
(Асоціація ЕБНІТ)