Оленич, І. Б. Електричні властивості оксидокремнієвих гетероструктур на основі поруватого кремнію [Текст] / І. Б. Оленич, Л. С. Монастирський, Б. П. Коман // Український фізичний журнал : науковий журнал. - 2017. - Т. 62, № 2. - С. 166-171 : рис. 4. - Бібліогр.: с. 170 (24 назви). - В ОБЛ. БІБЛІОТЕЦІ
Физика Електрика. Електрокінетіка Электричество. Электрокинетика Кл.слова (ненормовані): поруватий кремній -- плівка оксиду кремнію -- ВАХ -- енергія активації електропровідності -- термостимульована деполяризація -- пористый кремний -- пленка оксида кремния -- энергия активации электропроводности -- термостимулированная деполяризация Анотація: Методами вольт-амперных характеристик і термоактиваційної спектроскопії вивчено процеси перенесення та релаксації носіїв заряду в оксидокремнієвих гетероструктурах на основі поруватого кремнію. Досліджено температурні залежності провідності експериментальних структур в інтервалі 80-325 К та визначено енергію активації електропровідності. На основі температурних залежностей струму деполяризації розраховано енергетичній розподіл локалізованих електронних станів, які впливають на процеси перенесення заряду у структурах на основі поруватого кремнію. Проаналізовано вплив поверхневого покриття поруватого шару тонкою плівкою SiO[[d]]x[[/d]] на його електричні характеристики. Отримані результати розширюють перспективу застосування оксидокремнієвих наносистем. Дод.точки доступу: Монастирський, Л. С.; Коман, Б. П. |