Форма документа : Однотомне видання Шифр видання : 621.38/Ф 17 Автор(и) : Файнштейн С. М. Назва : Роль состояния поверхности в производстве полупроводниковых приборов Вихідні дані : Москва; Ленинград: Госэнергоиздат, 1961 Кільк.характеристики :111 с : ДРНТІ : 47 УДК : 621.382 Предметні рубрики: Электроника Електроніка Примірники :АНЛ(1) Вільні : АНЛ(1)